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等离子干法刻蚀技术是利用等离子体进行薄膜微细加工的技术。在典型的干法刻蚀工艺过程中，一种或多种气体原子或分子混合于反应腔室中，在外部能量作用下（如射频、微波等）形成等离子体，干法刻蚀技术由于具有良好的各向异性和工艺可控性已被广泛应用于微电子产品制造领域，凭借在等离子体控制、反应腔室设计、刻蚀工艺技术、软件技术的积累与创新，北方华创微电子在集成电路、半导体照明、微机电系统、***封装、功率半导体等领域可提供***装备及工艺解决方案。形成了对硅、介质、化合物半导体、金属等多种材料的刻蚀能力，其中应用于集成电路领域的硅刻蚀机已突破14nm技术，进入主流芯片代工厂，其余各类产品也凭借其优异的工艺性能成为了客户的。

阴极上的反映是电解水溶液中的氧化性化学物质如氢氧根离子、氧原子或金属正离子等在阴极上获得电子器件，转变成氡气溶解或转化成氢氧根空气负离子或金属冲积物粘附在阴极上，因而阴极反映是各种各样氧化反应的結果。其电极反应以下：2H 2e→H2↑2H20 02 4e→40H-M ne ne→M↓ 从上能够看见，电解蚀刻关键是运用电流量加速蚀刻部位金属的溶解，而并不是有机化学蚀刻那般要添加各种各样防腐剂，非常是催速剂。在某类标准下还将会一面将蚀刻的金属溶解，另一方面又能将溶解的金属在阴极上堆积而收购。从平面图6—7上能够看见电解蚀刻必须有专用型的电解机器设备、电气系统及配电设备设备，在操作过程时，也要有挂具和装卸搬运工作等。

1、 化学蚀刻法—用强酸或强碱溶液直接对工件未被保护部位进行化学腐蚀，这也是目前使用的一种方法，优点是蚀刻深度可深可浅，蚀刻速度很快，缺点是腐蚀液对环境有很大的污染，特别是蚀刻液不易回收。并且在生产过程中对操作工人的身体健康***。

2、 电化学蚀刻—这是一种把工件做阳极，使用电解质通电，阳极溶解，从而达到蚀刻目的的方法，其优点在于环保方面，对环境污染很小，对操作工人的身体健康无害，缺点是蚀刻深度较小，大面积蚀刻时，电流分布不均匀，深度不易控制。

3、 激光蚀刻法—优点是线性边沿整齐无侧蚀现象，但成本很高，约为化学蚀刻法的一倍。印刷电路板行业印刷锡膏时，所用的不锈钢丝网大多是用激光蚀刻法制作的。